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  • 硅片清洗自動上下料機

    硅片清洗自動上下料機
    概述
    采用TOPSTEK清洗上下料機,配合硅片清洗設備使用,將來料硅片由承載盒或花籃自動裝載到清洗設備中;待清洗完成后,由皮帶輸送機裝載到客戶指定片盒內。 通過使用TOPSTEK清洗上下料機,可代替人工操作,降低人工作業強度及硅片碎片率,減少人為二次污染,提高良率及產能。
    • 硅片清洗自動上下料機

      硅片上下料機

      傳統人工上料會造成硅片污染及破片,影響產品良率,浪費設備產能。
      采用TOPSTEK清洗上下料機,配合硅片清洗設備使用,將來料硅片由承載盒或花籃自動裝載到清洗設備中;待清洗完成后,由皮帶輸送機裝載到客戶指定片盒內。
      通過使用TOPSTEK清洗上下料機,可代替人工操作,降低人工作業強度及硅片碎片率,減少人為二次污染,提高良率及產能。
      TOPSTEK清洗上下料機,可集成MVC隱裂、水跡、雙片、破片檢測模塊,提升產品良率,為客戶節省大量資源,有效降低成本。

      產品規格:


    設備尺寸 堆疊8道設備 1.5mx2.9mx2m
      片盒8道設備2.1mx2.9mx2m
      堆疊5道設備1.5mx2.4mx2m
     
    片盒5道設備 2.1mx2.5mx2m
    適用Wafer尺寸 125x125mm/156x156mm(±0.5mm)
    設備產能 4300pics/h(可定制)  
    破片率 <0.03% (硅片自身缺陷除外)  
     

      產品特性:
     
      不間斷堆疊上料,保證產能提升
      可選上料隱裂、雙片檢測模塊
      可選下料水跡、破片檢測模塊
      專利吹氣機構,有效降低疊片及破片率
      便捷式配置頁面,可自由設置各個參數
      運動部件安全防護,保障人身安全
      優化的結構設計,占地空間小

      操作界面: 


        硅片上下料操作界面

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